产品介绍

NF-300M Supra-H设备是我公司自主研发的应用于新一代三维闪存（3D-NAND）生产线上的叠层薄膜沉积设备。。。应用于3D-NAND闪存芯片的生产。。可实现SiO2、、SiN多层薄膜堆叠结构，，在均匀性、、颗粒度、
、、粗糙度、、、、应力及产能等方面实现技术突破，，，设备性能指标达同类产品水平。。。

产品特点
1. 高产能设计和可实现多种薄膜沉积的快速切换。
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2. 可实现多层SiO2、、SiN（ONON)堆叠功能。。。
3. PM腔内可进行多片wafer沉积和wafer自动升降旋转功能
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4. 通过S2安全认证。
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