产品介绍

Dione 300/Dione 300 eX是胜意科技自主研发的晶圆混合键合和熔融键合设备
。。
。应用于存储器、
、逻辑芯片、、背照式图像传感器芯片、、三维集成芯片、、、、Micro LED的生产，，该设备拥有等离子活化、
、、清洗、、、、键合和量测等单元
，，所有性能指标均已达到国际同类产品水平
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产品特点
- 12英寸/8英寸晶圆适配
- 室温等离子活化键合
- 超精密光学对准系统
- 可配置键合波自动控制系统
- 百纳米级键合后Overlay
- 无键合气泡
- 高精度在线量测能力