产品系列
-
产品介绍
产品介绍
PF-300T Altair 系列是我公司自主研发的热原子层沉积（Thermal Atomic Layer Deposition）设备，，，以高产能PEALD设备核心技术为基础，，针对相应薄膜沉积的特殊性，，，对反应腔模块及关键部件优化设计，，实现成本更低，，，纯度更高的薄膜的沉积。。
- 理想的热原子层沉积系统
- 更快速的脉冲及吹扫，，，实现更高的产能
- 精准的化学源剂量控制，，实现工艺长期稳定性
- 独特的温控设计，，，，实现更高纯度的薄膜
- 维护简便，，，易耗件生命周期长，，，清洗成本低
